国立大学法人 豊橋技術科学大学 固体機能デバイス研究施設(Electron Device Research Center, Toyohashi University of Technology

固体機能デバイス研究施設 外観

 開学まもない昭和54年以来、他大学に先駆け教育研究としてIC(集積回路)の試作を行う一貫した設備の整備と維持を行い、平成6年に現在の施設に移行しました。その間、エンデバー搭載の宇宙実験用ICチップの開発からセンサとICを一体化したインテリジェントセンサなどの数々の独創的固体機能デバイスを開発・試作し、半導体・集積回路技術の全分野を真に理解できる大学院生の養成と独創的研究開発に努めてきています。

 施設は、集積回路の設計から、マスク作製、ICプロセス、評価までを有機的にできるCAD室とクリーンルームを備えています。微細加工技術を必要とする学内共同研究、社会人向けIC講習会(26年間継続)、国際技術交流(韓国との拠点大学方式交流事業(学振)など)、平成19年からはグローバルCOEプログラムの拠点施設の役割も果たしています。

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本施設に関するお問い合わせは、電気・電子工学系 電子デバイス工学分野(Tel:0532-44-6746)または、VBL(Tel:0532-44-6979)へお願いいたします。